層流超凈工作臺(tái)|潔凈工作臺(tái)檢驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)要求:
標(biāo)準(zhǔn)主要適用于層流超凈工作臺(tái)|潔凈工作臺(tái)。其他局部凈化設(shè)備可參照本標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)。
1 術(shù)語
1.1 局部凈化設(shè)備
是使在特定的局部空間的空氣含塵濃度達(dá)到每升空氣中)0.5p m的粒子數(shù)(3.5 粒的空氣潔凈度等級的設(shè)備稱局部凈化設(shè)備。它是由高效空氣過濾器等組成的凈化機(jī)組，如潔凈工作臺(tái)、潔凈干燥箱、潔凈層流罩、潔凈自凈器等。
1.2 氣溶膠
是由懸浮在氣體中的固體或液體微粒所組成的懸浮體系。
2 技術(shù)要求
2.1 檢漏
層流超凈工作臺(tái)|潔凈工作臺(tái)安裝后必須經(jīng)受氣溶膠的泄漏檢驗(yàn)和誘人檢驗(yàn)。按照3.1.1.2進(jìn)行試驗(yàn)時(shí)，縫隙下游側(cè)濃度超過上游側(cè)濃度的。.0100，則視為有明顯泄漏。
2.2 操作區(qū)潔凈度
按 照 3. 2進(jìn)行測試，其潔凈度妻0.5u m粒子必須鎮(zhèn)3.5粒/L，不準(zhǔn)許有)5k m粒子。
2.3 風(fēng)速
按 照 3. 3 進(jìn)行測試時(shí)，操作區(qū)平均風(fēng)速應(yīng)在0.3 -v0.6m /，范圍內(nèi)。如有特殊要求，由用戶與廠家另行商訂。每個(gè)測點(diǎn)應(yīng)在平均風(fēng)速的士20%范圍內(nèi)。
2.4 噪聲
按 3. 5 進(jìn)行測試，噪聲不得超過65dB(A聲級)，如有特殊要求由用戶與廠家商訂。
2-5 振動(dòng)
按 3. 6進(jìn) 行測試，操作臺(tái)三個(gè)軸向(二、y,z)振幅均不得超過5Km。如有特殊要求，用戶與廠家另行商訂。
2.6 照明
按3.7進(jìn)行測試，操作臺(tái)面平均照度不得小于300lx。光線應(yīng)均勻、柔和，避免眩光。如有特殊要求由用戶與廠家另行商訂。
2.7 構(gòu)造
2.7.1潔凈工作臺(tái)板壁表面不得生銹和剝落。對操作臺(tái)面有耐酸耐腐蝕要求時(shí)，應(yīng)采用耐酸材料或不銹鋼材料。
2.7.2所配用的高效空氣過濾器應(yīng)是經(jīng)測試合格的。在一般空氣環(huán)境中使用不應(yīng)變質(zhì)和腐蝕。
2.7.3高效空氣過濾器的安裝密封墊，要注意選用不易老化的材料，以免引起泄漏，并應(yīng)易于維護(hù)和更換。
2.7.4各部件配合緊湊合理牢靠，各門板、護(hù)板、蓋板的邊緣及縫隙不均勻度應(yīng)符合機(jī)械裝配要求。
2.7.5 螺釘螺帽應(yīng)無銹蝕、滑絲現(xiàn)象，螺釘開口槽應(yīng)無裂口傷痕。
2.7.6 機(jī)箱焊接應(yīng)符合一般焊接通用技術(shù)條件的要求，不得有燒穿、漏孔、裂縫等缺陷。
2.7.7當(dāng)潔凈工作合在產(chǎn)生易燃易爆物質(zhì)的房間中運(yùn)行時(shí)，風(fēng)機(jī)和電氣設(shè)備均應(yīng)為防爆性或設(shè)有防電火花措施。
2.7.8當(dāng)潔凈工作臺(tái)在酸、有機(jī)溶劑、生物粒子等情況下進(jìn)行操作時(shí)，其構(gòu)造必須是能把含有這些污物的空氣直接或經(jīng)處理后排出室外。
2.8 電氣系統(tǒng)
2.8門絕緣阻抗
按 3.8進(jìn)行絕緣測試，其絕緣電阻應(yīng)在ZMSi以上。
28.2 耐電壓
按 3.9進(jìn) 行耐電壓測試時(shí)不得有擊穿和閃絡(luò)現(xiàn)象。
2.8.3電器裝配要求
2.8-3.1 電氣系統(tǒng)的主要部件按現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)和機(jī)械工業(yè)部標(biāo)準(zhǔn)來配置。主要部件的安裝應(yīng)不遮擋或擾亂工作區(qū)內(nèi)的氣流并使?jié)崈艄ぷ髋_(tái)運(yùn)行安全可靠。
2.8-3.2 電動(dòng)機(jī)選擇應(yīng)符合GB 755-81((電機(jī)基本技術(shù)要求》。
2.8.3.3 照明宜選用熒光燈。熒光燈座和起輝器的選擇應(yīng)符合GB 1312-77((熒光燈座和起輝器座》標(biāo)準(zhǔn)。
2.8-3.4 開關(guān)和指示燈應(yīng)設(shè)置在操作人員容易操作和觀察的地方。應(yīng)符合GB 4053.3-83《電工成套裝置中的指示燈和按鈕的顏色》標(biāo)準(zhǔn)。
2.8-3.5 選用導(dǎo)線應(yīng)符合有關(guān)規(guī)定
2.8.3.6 電氣系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)負(fù)荷大小裝保險(xiǎn)絲或熔斷器。電氣系統(tǒng)的主要部件及凈化設(shè)備的殼體應(yīng)可靠接地。
2.8-3.7 電氣系統(tǒng)的接線圖應(yīng)貼在潔凈工作臺(tái)上
2.8.3.8 電氣元件、部件、接插件應(yīng)裝配牢靠，布線合理、整齊，焊點(diǎn)光滑，無虛焊，無錯(cuò)焊。
3 超凈工作臺(tái)之檢驗(yàn)方法
3.1 檢漏
檢漏包括泄漏測試和誘人測試。泄漏是指高效過濾器上游側(cè)氣溶膠，未經(jīng)過濾，通過過濾器孔洞或安裝不嚴(yán)形成的縫隙漏至過濾器下游側(cè)的現(xiàn)象;誘人是指潔凈工作臺(tái)箱體外的氣溶膠，通過箱體縫隙或操作口而誘導(dǎo)進(jìn)人操作區(qū)的現(xiàn)象(見圖1,圖2)
3.1.1 泄漏測試
3.1.1門儀器
采用檢漏裝置或同類型儀表。其性能要求
a 多分散DOP氣溶膠(冷煙)發(fā)生器，其濃度通常達(dá)80-100p g/L,
b 光度計(jì)，其對DOP氣溶膠(冷煙)濃度的測量范圍為0.00 1^-100ug/l
3.1.1.2 測試方法
向高效空氣過濾器上游側(cè)發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)，同時(shí)用檢漏裝置的采樣器在下游側(cè)距高效空氣過濾器出口約2.5cm處進(jìn)行掃描巡檢。采樣量為47.2X105m丫sC28. 3L/minD，巡檢速度錢5cm/s。當(dāng)下游側(cè)濃度與上游側(cè)濃度的比大于。01%時(shí)，則認(rèn)為有明顯泄漏，應(yīng)進(jìn)行堵漏。
3.1.2 誘人測試
3.1.2.1 儀器
與 3. 1. 1.1相同。
3.1.2.2 測試方法
在潔凈工作臺(tái)箱體連結(jié)縫外側(cè)和操作口邊緣外側(cè)所毗連的周圍環(huán)境中，發(fā)DOP氣溶膠(冷煙)然后用采樣器在連結(jié)縫內(nèi)側(cè)和操作口邊緣內(nèi)側(cè)巡檢。
a、縫隙誘人測試
水平層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距操作區(qū)壁面3cm，距接縫5cm的下游處;而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距操作口上擋板內(nèi)表面5cm，距高效空氣過濾器出口或整流格板表面10cm處進(jìn)行巡檢當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))的讀值超過臺(tái)外讀值的。.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘人(見圖3、圖4)。必須進(jìn)行堵漏。
b、外部誘人測試(操作口邊緣)
水平層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距開口處邊緣往里5c m，距壁內(nèi)表面3c m處(見圖5);而垂直層流潔凈工作臺(tái)，應(yīng)在距前擋板下邊緣往上5cm，距前擋板內(nèi)表面3 cm處以及距臺(tái)面回風(fēng)柵板邊緣往里10cm,
距回風(fēng)柵板往上5 cm處(見圖6)進(jìn)行巡檢。當(dāng)檢漏儀(光度計(jì))讀值超過臺(tái)外讀值的。.01%時(shí)，則確認(rèn)有氣溶膠誘人。
該項(xiàng)外部誘人測試僅適用新產(chǎn)品檢測。
3.2 潔凈度
3.2.1 儀器
塵埃粒子計(jì)數(shù)器。
3.2.2測試方法
3.2.2.1進(jìn)行潔凈度測試時(shí)，吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度(對于>-0.5km的粒子)不得小于35000粒/L,當(dāng)吸風(fēng)口處不能滿足上述指標(biāo)時(shí)，宜在潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。
3.2-2.2當(dāng)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度達(dá)到穩(wěn)定條件下，在距主過濾器或整流格柵出口250mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺(tái)距操作臺(tái)面250mm的中心處)連續(xù)測試5次，求其平均值。
3.2-2.3操作區(qū)氣溶膠濃度測試盡量采用大流量(47.2X10- m’/s(28.3L/min))塵埃粒子計(jì)數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計(jì)數(shù)器，但采樣量不得小于11。
3.2.2.4潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處的氣溶膠濃度測試，需要在測試潔凈工作臺(tái)操作區(qū)氣溶膠濃度的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行，要測5次以上。
3.2-2.5當(dāng)測試時(shí)有)5 pm粒子出現(xiàn)時(shí)，應(yīng)進(jìn)行多次采樣，當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí)，才認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。
式中:C— 操作區(qū)對比氣溶膠濃度。5pm),(粒/L);
c—潔凈工作臺(tái)吸風(fēng)口處)0.5pm的氣溶膠濃度平均值，粒/L;
C,—潔凈工作臺(tái)操作區(qū))0.5pm的氣溶膠濃度平均值，粒/L;
Co—可比工作環(huán)境中的)0.5pm的氣溶膠濃度，取值為35000粒/L,
3.2.4使用條件下操作區(qū)的潔凈度
潔凈工作臺(tái)在使用條件下，不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少，要按有關(guān)規(guī)定進(jìn)行測試，并按操作區(qū)氣溶膠的實(shí)測濃度來評價(jià)操作區(qū)的潔凈度。
3.3風(fēng)速
3.3.1儀器
采用便攜式熱球電風(fēng)速計(jì)或便攜式熱敏電阻恒溫風(fēng)速計(jì)測試，所選用的儀器其誤差不大于被測量的士1o%，風(fēng)速計(jì)應(yīng)按說明書中的要求進(jìn)行標(biāo)定。
3.3.2 測試方法
3.3.2.1 把在主過濾器或擴(kuò)散板下游10cm處的平面的面積分成不得少于十二等分的面積，各面積中心點(diǎn)即為風(fēng)速測點(diǎn)(見圖7)。但各測點(diǎn)間距不應(yīng)大于25 cm。
3.4 終負(fù)荷條件下的風(fēng)速測試
當(dāng) 主 過 濾器阻力增加到約初阻力(即工作臺(tái)設(shè)計(jì)風(fēng)速下的阻力)二倍后，要求潔凈工作臺(tái)操作區(qū)平
均風(fēng)速不得小于0.3m/s。該項(xiàng)測試適用于新產(chǎn)品。
3.4.1儀器及設(shè)備
3.4.1.1風(fēng)速計(jì)按3.3.1規(guī)定選用。
3.4. 1.2傾斜式微壓計(jì)，精度應(yīng)不低于1級，標(biāo)定應(yīng)按JJG 172-7s+傾斜式微壓計(jì)檢定規(guī)程》進(jìn)行。
3.4.1.3阻尼擋板采用冷軋?zhí)妓劁摪?，其尺寸大小為該潔凈工作臺(tái)上安裝的高效空氣過濾器的尺寸(長x寬)。將擋板均勻鉆孔，使鉆孔的擋板阻力加上高效過濾器的阻力約為高效過濾器的終阻力值(即終阻力達(dá)到初阻力的二倍值)。亦可采用其他材料做的阻尼層。
3.4.2 測試方法
在潔凈工作臺(tái)的高效過濾器前、后處接人微壓計(jì)。在緊貼高效過濾器的上風(fēng)側(cè)裝上鉆孔的擋板(擋板開孔加工面的反面應(yīng)對著上風(fēng)側(cè))，安裝時(shí)應(yīng)注意嚴(yán)密。
按3.3.2的測試方法，測定潔凈工作臺(tái)操作區(qū)的風(fēng)速。使平均風(fēng)速應(yīng)在所規(guī)定最小風(fēng)速的士10%以內(nèi)。
3.5噪聲
3.5.1 儀器
采 用 聲 級計(jì)。儀器標(biāo)定后應(yīng)符合有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定。
3.5.2 測試方法
3.5-2.1 潔凈工作臺(tái)的噪聲測點(diǎn)應(yīng)布置在工作臺(tái)中心，距臺(tái)面前沿20cm處，高度為110cm(相當(dāng)操作人員坐著的耳部位置)，如圖8。其他局部凈化設(shè)備的噪聲測點(diǎn)應(yīng)布置在距設(shè)備主要表面幾何中心的水平距離100 cm，高度為150cm處。宜四面各測定一次，取四點(diǎn)算術(shù)平均值，
15.2.2 局部凈化設(shè)備應(yīng)在正常運(yùn)行條件下，測定A聲級及倍頻程值倍頻程的中心頻率范圍為63-8000 Hz。對于出廠產(chǎn)品或現(xiàn)場檢驗(yàn)(即維修后的設(shè)備)僅測試A聲級值，對于新產(chǎn)品還應(yīng)測試噪聲倍頻程值。
3.5.2.3 測試噪聲的環(huán)境宜在室內(nèi)比較開闊的、較硬實(shí)反射地面上進(jìn)行測量。傳聲器附近1 m的范圍內(nèi)，不應(yīng)有其他反射物。設(shè)備操作區(qū)開口處，若設(shè)有擋板應(yīng)全部開啟，特別注意避免氣流產(chǎn)生的風(fēng)壓、電磁場、振動(dòng)等給測量帶來的影響。
15.2.4 當(dāng)實(shí)測噪聲值與背景噪聲值的差值，大于或等于10 dB(A聲級)時(shí)，表示實(shí)測噪聲值有效;為6-9dB(A聲級)時(shí)，應(yīng)將實(shí)測噪聲值結(jié)果減去1 dB;為4-5 dB時(shí)，應(yīng)減2 dB;當(dāng)小于3 dB時(shí)，則測量無效。
15.2.5 測定潔凈工作臺(tái)的A聲級值應(yīng)達(dá)到2.4中的規(guī)定。
3.6 振動(dòng)
3.6.1 儀器
應(yīng)是具有2 500Hz的振動(dòng)頻率，位移為0.1ijm^1.5mm，加速度為。.Olg^-log的振動(dòng)分析計(jì)。
儀器校準(zhǔn)應(yīng)按照說明書的要求進(jìn)行。
3.6.2 測試方法
3.6.2.1 當(dāng)潔凈工作臺(tái)在正常運(yùn)行條件下，將振動(dòng)分析計(jì)的拾振器置于操作面的幾何中心處，測出x,Y,Z三個(gè)軸向的總振幅值。
3.6.2.2 被測試的潔凈工作臺(tái)應(yīng)放置在振動(dòng)比較小的地面上進(jìn)行。在測試過程中應(yīng)避免周圍環(huán)境的影響。
3.6.2.3 三個(gè)軸向的振幅值均應(yīng)達(dá)到2.5中的規(guī)定。
3.7 照明
3.7.1儀器
采用攜帶式照度計(jì)，應(yīng)按說明書的要求進(jìn)行校準(zhǔn)。
3.7.2 測試方法
測點(diǎn)布置在潔凈工作臺(tái)橫向的中心線上，均勻布置三點(diǎn)，取算術(shù)平均值作為潔凈工作臺(tái)的照度。其照度應(yīng)達(dá)到2. 6中的規(guī)定。
3.8 絕緣阻抗
3.8.1 儀器
采 用 50 0v 的兆歐表。
3.8.2 測試方法
參照 GB 998-67(低壓電器基本試驗(yàn)方法》和JB 617-65《低壓配電屏技術(shù)條件》標(biāo)準(zhǔn)。測量電器及接線部分對工作臺(tái)金屬結(jié)構(gòu)之間的絕緣電阻
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